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提拉式单晶 00型种种整套单晶炉装备、控制柜,整流柜滤波柜,中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感到炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉/二手兴旧变压器配电柜高压柜中置柜稳压柜调压柜高压配电柜智能中断路器真空中断路器关柜等等,asdffssfsff
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主炉室,翻板阀,副炉室,籽晶提升机构,液压驱动装置,真空系统,冲氩气系统及水冷系统。机架由底座,上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。江浙沪皖赣冶炼行业成套设备单位,整改停用冶炼机械产品拆除,本长期收购中频炉,单晶炉,电解炉,高风炉,热风炉,单晶硅生长炉,整改,整流柜收购,电抗器拆除,水冷电缆拆除收购,动力电缆拆除收购业务。坩埚驱动装置炉子本体包括机架我长年专业收购单晶炉设备欢迎来电详询。
技术领域:本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术:图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图,图1-2 中,l为炉筒,2为保温盖,3为保温盖,4为保温材津牛,5为保温罩,6为 加热器,7为水套,8为石英埚,9为导流筒,IO为护盘,12为氩气输 入管,11为分布有孔11-1的环形气体分布器,13为排气口。名称:直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大,另外,现有技术中,从氩气输入管向炉内充入氩气时, 充气气压为1. 3x 103pa,氩气流量为40L/min,因此其氩气消耗量大,生产 成本较高。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,
中频炉成套设备:长期各类钢铁厂 、铸造厂、轧钢厂、冶炼厂用中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、中频电炉、中频熔炼炉、中频感应炉、中频锻造炉、中频淬火炉、中频烧结炉、中频熔铝炉、中频熔钢炉、中频加热炉、中频透热炉等中频炉成套设备。
冶炼设备:长期各类炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感应炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉、平整机、拉矫机等冶炼设备。
铸造设备:长期各类高频炉,氮化炉、渗碳炉、盐浴炉、真空加热炉、钎焊炉、高频电炉、中频电炉、感应炉、井式炉、熔铝炉、熔铜炉、电弧炉、辐射电炉、网带炉、台车炉、保温炉、罩式炉、退火炉、回火炉、淬火炉、推杆炉、焙烧炉、烧结炉、窑炉、硝盐炉、时效炉、管式炉、氨炉、坩锅电炉、熔炼炉、箱式炉、调质电炉、实验电炉、加热炉、锻造炉、连续炉、热风炉等铸造设备。
99%以上的集成电路是硅集成电路 ,生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长始时 ,用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中 ,对晶体的提拉速度有十分严格的要求 ,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。当今 95%以上的半导体器件是用硅材料的 单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料 图 1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器 线性精度大于± 2 %。3、还有传动部件的维护,比如滚珠丝杆精密杆付、涡轮、齿轮等,要保清洁度,避免见到脏东西,经常,维持设备部件的正常运行。